2023年蘇錫常首臺（套）重大裝備擬認定名單出爐，共有70個裝備入選，蘇錫常首臺(套)重大裝備是指蘇州、無錫、常州三市企業(yè)通過研發(fā)創(chuàng)新，在品種、規(guī)格或技術參數(shù)等方面有重大突破，具有自主知識產(chǎn)權的國際或國內(nèi)首臺(套)高端裝備和關鍵部件，整機性能或核心技術指標達到國內(nèi)領先或國際同類裝備先進水平。
蘇州30個裝備上榜（蘇州位列第一），蘇州市30個，無錫市20個，常州市20個。蘇州、無錫、常州三市將在認定的蘇錫常首臺（套）重大裝備中擇優(yōu)推薦申報江蘇省首臺（套）重大裝備。
蘇州具體名單如下：
喜報
昆山高新區(qū)
蘇州智程半導體科技股份有限公司
全自動單式清洗機（ZCWB-A3）
成功入選
蘇州智程半導體科技股份有限公司是一家專業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售半導體清洗設備的國家專精特新“小巨人”企業(yè)，產(chǎn)品幾乎覆蓋半導體行業(yè)所有濕制程工藝，主導產(chǎn)品全自動化合物半平體槽式清洗機的國內(nèi)市場占有率排名第一。公司先后承擔江蘇省重點研發(fā)計劃、蘇州市產(chǎn)業(yè)前瞻與共性技術等多個重點項目，并建有江蘇省企業(yè)工程技術研究中心、蘇州市企業(yè)技術中心、蘇州市工業(yè)設計中心等研發(fā)平臺。公司曾榮獲江蘇省瞪羚企業(yè)、蘇州市服務型制造示范企業(yè)、知識產(chǎn)權成長型企業(yè)、知識產(chǎn)權標桿企業(yè)等榮譽稱號。
此次上榜設備全自動單式清洗機（ZCWB-A3）針對大尺寸薄片晶圓全自動清洗，處理能力為8英寸晶圓最小厚度150μm、12英寸晶圓最小厚度200μm，清洗效率高。公司自主開發(fā)的翹曲晶圓吸附技術、精準定位技術、伯努利非接觸式抓取技術工藝先進、產(chǎn)能大，填補了國內(nèi)薄片晶圓8英寸和12英寸全自動清洗裝備的空白，處于國內(nèi)領先地位。
截至目前，全區(qū)擁有
省首臺（套）重大裝備21家
占全市比重40%
蘇錫常首臺（套）重大裝備4家
占全市比重45%
均位列全市第一
智程半導體在各項設備評選中，多次入選，見證了智程的實力。智程在研發(fā)的道路上任重且長，永不停歇，將加大創(chuàng)新研發(fā)投入和裝備研發(fā)，打造具有核心知識產(chǎn)權的高端裝備工程。
