據(jù)招標(biāo)平臺信息顯示，5月10日，上海積塔半導(dǎo)體多項(xiàng)設(shè)備中標(biāo)結(jié)果公布。
結(jié)果顯示，北方華創(chuàng)、拓荊科技、芯源微、阿斯麥（ASML）等成功中標(biāo)上海積塔特色工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目33臺設(shè)備，其中北方華創(chuàng)、拓荊科技、芯源微三家合計(jì)中標(biāo)量占比約67%，國產(chǎn)設(shè)備比重較大。
據(jù)悉，北方華創(chuàng)中標(biāo)10臺設(shè)備，包括合金化工藝低壓立式爐管、緩沖層氧化膜爐管、鋁刻蝕機(jī)、鋁金屬物理氣相沉積機(jī)、鋁銅金屬濺射設(shè)備等；拓荊科技中標(biāo)3臺二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備、8臺二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備；芯源微中標(biāo)1臺聚合物涂膠顯影機(jī)；阿斯麥中標(biāo)2臺i-line光刻機(jī)、1臺KrF光刻機(jī)。
△全球半導(dǎo)體觀察根據(jù)招標(biāo)平臺信息整理制圖
官方信息顯示，上海積塔半導(dǎo)體此次是為特色工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目招標(biāo)。該項(xiàng)目于2017年簽約落戶上海臨港，2018年8月開工建設(shè)，2019年12月首臺光刻設(shè)備搬入，2020年3月正式投片。
據(jù)悉，該項(xiàng)目總投資359億元，目標(biāo)是建設(shè)月產(chǎn)能6萬片的8英寸生產(chǎn)線和5萬片12英寸特色工藝生產(chǎn)線。據(jù)新華社報(bào)道，今年5月，上海積塔半導(dǎo)體已經(jīng)明確將在上海臨港投資二期項(xiàng)目，新增固定資產(chǎn)投資預(yù)計(jì)超過260億元。
根據(jù)此前中國國際招標(biāo)網(wǎng)的信息顯示，上海積塔半導(dǎo)體的一期產(chǎn)線當(dāng)中，64%的清洗設(shè)備都是由北方華創(chuàng)供應(yīng)的，此外還部分采用了北方華創(chuàng)與成都萊普科技的熱處理設(shè)備，上海微電子裝備和中科飛測的測量設(shè)備。
而統(tǒng)計(jì)今年至今招標(biāo)平臺信息可知，上海積塔半導(dǎo)體今年招標(biāo)工藝設(shè)備超150臺，值得注意的是，今年其設(shè)備國產(chǎn)化率有明顯提高趨勢。
在中標(biāo)廠商中，北方華創(chuàng)、中微公司、屹唐、芯源微電子、上海精測、盛美上海等占比較大。分設(shè)備看，干法去膠設(shè)備、刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備、離子注入機(jī)、拋光設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備是國產(chǎn)化集中領(lǐng)域。
隨著上海積塔半導(dǎo)體擴(kuò)產(chǎn)增能，相應(yīng)的設(shè)備需求量將會更大。在當(dāng)下國產(chǎn)替代契機(jī)下，國內(nèi)設(shè)備廠商有望獲得更多的驗(yàn)證機(jī)會。
