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已上市—拓荊科技股份有限公司
沈陽(yáng)拓荊科技有限公司成立于2010年4月，是由海外專家團(tuán)隊(duì)和中科院所屬企業(yè)共同發(fā)起成立的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)從事高端半導(dǎo)體薄膜設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)。公司先后三次承擔(dān)國(guó)家科技重大專項(xiàng)，2016年、2017年、2019年獲評(píng)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)授予的“中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)”稱號(hào)。
公司擁有12英寸PECVD（等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備）、ALD（原子層薄膜沉積設(shè)備）、3D NAND PECVD（三維結(jié)構(gòu)閃存專用PECVD設(shè)備）三個(gè)完整系列產(chǎn)品，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際較先進(jìn)水平。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路前道和后道、TSV封裝、光波導(dǎo)、LED、3D-NAND閃存、OLED顯示等高端技術(shù)領(lǐng)域。公司產(chǎn)品目前已導(dǎo)入國(guó)內(nèi)多家主流內(nèi)資晶圓廠，也是國(guó)內(nèi)唯一在半導(dǎo)體領(lǐng)域大規(guī)模量產(chǎn)應(yīng)用的國(guó)產(chǎn)自主PECVD設(shè)備公司。
