隱冠自主研發(fā)的極軸運動臺采用高度模塊化,超薄型等設(shè)計理念,實現(xiàn)X、Z和T軸3軸直線和旋轉(zhuǎn)運動,其中垂向采用了磁浮重力補償技術(shù),可廣泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用,例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查、AOI光學(xué)檢測等設(shè)備。該產(chǎn)品于6月12日至14日舉辦的第七屆中國(上海)國際發(fā)明創(chuàng)新展覽會上,斬獲金獎。
隱冠自主研發(fā)的極軸運動臺采用高度模塊化,超薄型等設(shè)計理念,實現(xiàn)X、Z和T軸3軸直線和旋轉(zhuǎn)運動,其中垂向采用了磁浮重力補償技術(shù),可廣泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用,例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查、AOI光學(xué)檢測等設(shè)備。該產(chǎn)品于6月12日至14日舉辦的第七屆中國(上海)國際發(fā)明創(chuàng)新展覽會上,斬獲金獎。