陛通半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備進(jìn)展喜人，多款設(shè)備已完成驗(yàn)收及交付
2023年9月20日，陛通半導(dǎo)體受邀參加第23屆中國國際工業(yè)博覽會(huì)產(chǎn)融合作、供應(yīng)鏈合作對接系列活動(dòng)——“芯創(chuàng)未來，推動(dòng)國產(chǎn)新裝備新材料創(chuàng)新發(fā)展”專題會(huì)議。會(huì)上陛通副總裁、市場銷售總經(jīng)理陳浩發(fā)表有關(guān)《薄膜沉積設(shè)備的機(jī)遇與挑戰(zhàn)》的主題演講。在談及國內(nèi)外薄膜沉積設(shè)備市場時(shí)，他指出：國外企業(yè)起步早、積累深厚，國內(nèi)設(shè)備與之相比在可靠性及穩(wěn)定性方面還存在一定的差距，但在核心的技術(shù)指標(biāo)上，還是很有希望取得一定突破的。國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的發(fā)展及技術(shù)突破離不開持續(xù)創(chuàng)新和保持匠心的精神。會(huì)議現(xiàn)場，在做陛通產(chǎn)品介紹時(shí)，創(chuàng)新和匠心得到了充分的體現(xiàn)。目前陛通擁有6/8吋PVD、12吋CVD以及12吋和6/8吋ALD多個(gè)品類的國產(chǎn)薄膜沉積設(shè)備，公司國產(chǎn)設(shè)備在市場拓展上取得了諸多進(jìn)展。- 陛通12吋CVD設(shè)備（包括PECVD&SACVD）Jupiter 3120采用了自主研發(fā)的“小亮旋轉(zhuǎn)“技術(shù)，相比于傳統(tǒng)的燈箱270度的旋轉(zhuǎn)模式，陛通采用了使晶圓在360度范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)的創(chuàng)新方式，使得薄膜均勻性超越了歐美主流設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了核心技術(shù)上的突破。Jupiter 3120已進(jìn)入了國內(nèi)多家邏輯芯片、功率器件及存儲器制造廠并成功通過驗(yàn)證。
- 陛通6/8吋PVD設(shè)備Venus 2200憑借特有的Adaptor、一體式水冷設(shè)計(jì)、點(diǎn)接觸式真空手臂等多種設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)對工藝套件的有效控溫和超薄晶圓的穩(wěn)定傳送，同時(shí)帶來了產(chǎn)能的大幅度提升。目前Venus 2200已應(yīng)用于國內(nèi)多家制造功率器件、SiC、硅基GaN、濾波器等第三代半導(dǎo)體6/8吋晶圓廠，并得到了客戶的廣泛認(rèn)可。
- 陛通12吋PVD設(shè)備Venus 3210可配置8個(gè)反應(yīng)腔和2個(gè)ALD腔，能夠使PVD、ALD和CVD腔搭配在同一平臺上，這種組合方式可應(yīng)用于高帶寬存儲器（HBM）工藝。目前Venus 3210已具備了Cu互聯(lián)、硬掩模、Al Pad、TiN等制程的交付能力。
- 陛通12吋ALD設(shè)備Mercury 3110采用了團(tuán)簇式的設(shè)計(jì)，搭配了4個(gè)腔體的組合可達(dá)到高產(chǎn)能的效果，目前該設(shè)備已滿足28nm HKMG的制程要求。
值得一提的是，除以上薄膜沉積設(shè)備之外，高端紫外線固化設(shè)備Aegis UV3也是陛通的亮點(diǎn)之一，它能做到出色的UV光照量和均勻性，有效地提高薄膜應(yīng)力。Aegis UV3已陸續(xù)發(fā)往國內(nèi)知名的存儲晶圓廠。寶劍鋒從磨礪出，陛通十五載始終堅(jiān)持乘風(fēng)破浪、砥礪前行，今后將會(huì)繼續(xù)奮進(jìn)，為中國半導(dǎo)體的發(fā)展添磚加瓦、保駕護(hù)航。
