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智程半導(dǎo)體喜獲2023年江蘇省重點研發(fā)計劃立項支持

近日，江蘇省科技廳發(fā)布了2023年省科技計劃專項資金（重點研發(fā)計劃產(chǎn)業(yè)前瞻與關(guān)鍵核心技術(shù)）擬立項名單。智程半導(dǎo)體憑借扎實的前期研發(fā)基礎(chǔ)、強大的科技創(chuàng)新能力、明確的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化目標成功獲得省級項目支持。

2023年省科技計劃專項資金（重點研發(fā)計劃產(chǎn)業(yè)前瞻與關(guān)鍵核心技術(shù)擬立項清單）

江蘇省重點研發(fā)計劃是由江蘇省科技廳組織，緊扣高質(zhì)量發(fā)展走在前列的目標定位，圍繞省內(nèi)科技自立自強，大力實施前瞻性產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的專項項目。智程半導(dǎo)體主持的省重點研發(fā)計劃《基于微納氣泡過程強化的集成電路前道14nm單片式清洗設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)》項目，面向集成電路前道先進清洗制程實施關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，將打破集成電路先進單片式清洗設(shè)備的國際壟斷，解決高端單片清洗設(shè)備“卡脖子”的難題，大力推動集成電路芯片制造的國產(chǎn)化進程。

本次省級科技項目入選標志著智程半導(dǎo)體科研能力及創(chuàng)新技術(shù)邁進了新臺階。后續(xù)智程半導(dǎo)體將不斷提升企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新能力，持續(xù)推進高端清洗設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化，加速推動半導(dǎo)體上下游生態(tài)系統(tǒng)國產(chǎn)化。

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