2023年1月13日,隱冠半導(dǎo)體自主研發(fā)生產(chǎn)的首臺高速高加速運動平臺成功發(fā)運交付客戶!自2022年啟動該項目以來,隱冠研發(fā)與生產(chǎn)團隊克服重重困難,深化自主創(chuàng)新投入,努力突破技術(shù)壁壘,在夜以繼日的共同努力下,最終產(chǎn)品出廠檢驗順利通過,團隊今日共同見證產(chǎn)品發(fā)運這一意義重大的時刻。
隱冠自主研發(fā)的高速高加速運動平臺是一種復(fù)合式、大行程、高加速的運動平臺。該平臺采用復(fù)合導(dǎo)向技術(shù)解決了高速運動時垂向的跳動問題,同時利用平衡質(zhì)量技術(shù)解決了高加速運動時的沖擊問題,提升了平臺在高速高加速運動時的穩(wěn)定性,提高了平臺整體運動性能。
隨著半導(dǎo)體制造裝備向著高質(zhì)量和高效率的方向不斷發(fā)展,其核心運動部件——運動平臺的高速高加速度運動特性是為影響裝備整機性能的關(guān)鍵因素之一,隱冠堅定地以此作為研發(fā)目標(biāo),專注于實現(xiàn)快速、精確定位的控制,從而突破運動平臺設(shè)計以及運動控制系統(tǒng)實現(xiàn)的技術(shù)難關(guān)。如今,隱冠首臺高速高加速運動平臺的研制成功,標(biāo)志著隱冠在實現(xiàn)更高加速度運動平臺的技術(shù)開發(fā)層面取得了新的突破及相關(guān)技術(shù)積累。
作為以自主研發(fā)為核心的創(chuàng)新型企業(yè),隱冠始終將技術(shù)創(chuàng)新作為必然選擇,以“為客戶創(chuàng)造價值、創(chuàng)新至上、開放融合”的企業(yè)精神作為奮進的能量源泉。隱冠將繼續(xù)夯實產(chǎn)品品質(zhì),順應(yīng)產(chǎn)業(yè)變革,把握時代機遇,促進關(guān)鍵核心技術(shù)創(chuàng)新應(yīng)用和成果轉(zhuǎn)化落地,努力提升精密裝備設(shè)計與制造水平,以助力我國先進半導(dǎo)體裝備的自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化更快、更好發(fā)展,為半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵核心技術(shù)攻堅貢獻智慧和力量。