中央政治局常委、國(guó)務(wù)院副總理韓正到拓荊科技股份調(diào)研
2022年6月5日，中央政治局常委、國(guó)務(wù)院副總理韓正到拓荊科技股份有限公司調(diào)研。
拓荊科技
拓荊科技是國(guó)內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的PECVD、SACVD薄膜設(shè)備廠商，是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)。公司聚焦的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備與光刻機(jī)、刻蝕機(jī)共同構(gòu)成芯片制造三大主設(shè)備。主要產(chǎn)品包括等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備、原子層沉積（ALD）設(shè)備和次常壓化學(xué)氣相沉積（SACVD）設(shè)備三個(gè)產(chǎn)品系列，已廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)晶圓廠 14nm 及以上制程集成電路制造產(chǎn)線，并已展開(kāi) 10nm 及以下制程產(chǎn)品驗(yàn)證測(cè)試。拓荊科技首次公開(kāi)發(fā)行3,169.98萬(wàn)股股份，募資超過(guò)20億元人民幣，用于高端半導(dǎo)體設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目、先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)研發(fā)與改進(jìn)項(xiàng)目、ALD設(shè)備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目以及補(bǔ)充流動(dòng)資金。
